DE1934135A1

DE1934135A1 - Display gas discharge device

Info

Publication number: DE1934135A1
Application number: DE19691934135
Authority: DE
Inventors: Warne Leland Alayton; Armstrong James Burroughs; Schott Dan Jerry
Original assignee: Sperry Rand Corp
Current assignee: Sperry Corp
Priority date: 1968-07-05
Filing date: 1969-07-04
Publication date: 1970-01-08
Also published as: FR2012364A1; DE1934135C2; NL163664B; NL163664C; SE368877B; NL6910316A; GB1272674A

Description

Dipl. Ing. C. Wallach
' Dipl. Ing. G. Koch Dipl. Ing. C. Wallach
'Dipl. Ing. G. Koch

Dr. T. Haibach - 4 JIH /Dr. T. Haibach - 4 JIH /

München 2
föufingersir. 8, TiI. 240275 Munich 2
föufingersir. 8, TiI. 240275

12068 - H/Vie12068 - H / Vie

SPERRY RAND CORPORATION, New York / New York 10019 (V.St.A.)SPERRY RAND CORPORATION, New York / New York 10019 (V.St.A.)

Anzeige-GasentladungsvorrichtungDisplay gas discharge device

Die Erfindung betrifft eine änzeige-Gäsentladungsvorrichtung des Typs mit einem die Kathode tragenden Substratteil und einer mit dieser unter Bildung einer Kammer für das ionisierbare Gas hermetisch diehtschließend verbundenen durch- ' sichtigen Anode, durch welche hindurch die Kathoden-Glimmlichter für den Betrachter sichtbar sind.The invention relates to a display gas charging device of the type having a substrate part carrying the cathode and one with this to form a chamber for the ionizable Gas hermetically connected through visible anode, through which the cathode glow lights are visible to the viewer.

Die bekannten Anzeige-Gasentladungsvorriehtungen dieser Art haben normalerweise nur eine verhältnismäßig kurz© Betriebslebensdauer. In erster Linie ist die Kathodenzerstäubung für den frühen Ausfall bzw«, frühe Unbrauchbarvrerden dieser Anordnungen verantwortlich* da das zerstäubte bzw. versprühte Kathodenmaterial Widerstandsarme Leiterwege zwischen benachbarten Kathodensegmenten bildete Man hat versucht, durch die Zurnischung eines Gases mit hohem Molekular- ι gewicht, beispielsweise Quecksilber, au dem ionisierbaren · Gas die Betriebslebensdauer zu verlängern. Diese MaßnahmeThe known display gas discharge devices of this type normally only have a relatively short service life. First and foremost, cathode sputtering is for early failure or early unusable responsible for these arrangements * because the atomized or sprayed cathode material Low-resistance conductor paths formed between adjacent cathode segments Attempts have been made to by admixing a gas with a high molecular weight, for example mercury, to the ionizable Gas to extend the service life. This measure

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hat zwar zu einer Verlängerung der Lebensdauer bei bestimmten Gasentladungsröhren geführt, jedoch erbringt diese Maßnahme» allein bei planaren, ebenen Anzeigevorrichtungen kein zufriedenstellendes Verhalten, bei welchen die Kathodensegmente durch Abscheidung, Verbund oder anderweitige Anbringung auf einem gemeinsamen Substrat eng benachbart miteinander angeordnet sind. .although has to extend the life of certain Out of gas discharge tubes, however, this measure »alone with planar, flat display devices does not satisfactory behavior in which the cathode segments are deposited, bonded or otherwise attached are arranged closely adjacent to one another on a common substrate. .

Zur Vermeidung dieser Nachteile ist bei einer Anzeige-Gasentladungsvorrichtung der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung vorgesehen, daß durch das Substratteil mehrere elektrisch leitende Stifte hermetisch dichtschließend hindurchgeführt sind, die auf der dem Betrachter zugewandten Oberfläche des Substratteils überstehen und an den überstehenden Enden Kathodensegmente tragen, und daß die Anode in solchem Abstand von dem Substrat und den Kathodensegmenten angeordnet ist, daß der Anoden-Kathoden-Abstand und der Kathoden-Substrat-Abstand f^ür einen vorgegebenen Druck des in dem abgeschlossenen Raum zwischen der Anode und der Kathode enthaltenen ionisierbaren Gases gewährleisten, daß die Kathodensegmente bei Erregung nur pn der dem Betrachter zugewandten Seite glimmen.To avoid these disadvantages, it is provided in a display gas discharge device of the type mentioned according to the invention that several electrically conductive pins are passed hermetically sealed through the substrate part, which protrude on the surface of the substrate part facing the viewer and carry cathode segments at the protruding ends, and that the anode is arranged at such a distance from the substrate and the cathode segments that the anode-cathode distance and the cathode-substrate distance for a given pressure of the ionizable gas contained in the enclosed space between the anode and the cathode ensure that the cathode segments glow only pn on the side facing the viewer when excited.

Auf diese Weise befindet sich jeweils jedes Kathodensegment in Abstand sowohl von der Anode als auch von dem Substratteil, wobei die relativen Abstände so gewählt sind, daß für einen vorgegebenen Gasdruck die Kathoden«!essente nur an ihrer Anoden«= oder dem Betrachtes? gugewas&öa Seite glimmen» Beispielsweise gewährleisten bei -smsa Ciasdruck von 50 mm Hg-Me©fö eia Asioden-Kathodenabstand -wob 0,03 Zoll und ein Kathoden-Substratabstand τοη 0^005 SoII₅ daß nur derartig© aaodenseitlge Glimmere3-i.ieiaungsn auftreten. Zur ) weiteren Herabsetzung der Auswirkungen der Kathodenzerstäubung kann, jeweils um die Grundfläche der einzelnen Kathodenhalterungsstifte herum eine napf- oder becherförmigeIn this way, each cathode segment is located at a distance both from the anode and from the substrate part, the relative distances being selected so that for a given gas pressure the cathode "essents only at their anode" = or from the point of view? gugewas & öa side glow "For example, ensure at -smsa Ciasdruck of 50 mm Hg Me © fö eia Asioden-cathode spacing -wob 0.03 inches and a cathode substrate distance τοη 0 ^ 005 SoII ₅ that only such occur © aaodenseitlge Glimmere3-i.ieiaungsn . To ) further reduce the effects of cathode sputtering, a cup-shaped or cup-shaped tube can be placed around the base of the individual cathode holding pins

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Mulde oder Ausnehmung vorgesehen sein. Ein weiterer zu- ;.; sätzlioher Vorteil der erfindungsgemäßen Anodenkathoden- und Kathoden-Subetratabstände besteht darin, daß die zur Erzielung einer bestimmten Leuchtkraft der Glimmentladung erforderliche Leistung sich etwa um 50 % verringert.Trough or recess may be provided. Another to-;.; An additional advantage of the anode-cathode and cathode substrate spacings according to the invention is that the power required to achieve a certain luminosity of the glow discharge is reduced by about 50%.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anzeige-Gasentlädungsvorrichtung, wonach nan in einem Glassubstratteil mehrere Kathodenhalterungsetifte so anordnet, daß die Stirnflächen der Stifte mit der dem Betrachter zugewandten Oberfläche des Substratteils fluchten und die gegenüberliegenden Enden der Stifte an * der gegenüberliegenden Oberfläche des Substratteils überstehen, und daß man sodann die dem Betrachter zugewandte Oberfläche des Substratteils ätzt, um die einzelnen Stifte Jeweils mit einem bestimmten Teil ihrer Länge freizulegen, . derart, daß sie aus der nach der Ätzung verbleibenden Sub-' sfcratoberfläche hervorstehen. Im Verlauf der Ätzung bildet eich in dem Substrat um die Grundfläche der einzelnen Stifte herum eine napf- bzw. becherförmige Einkerbung bzw. Mulde. Die Muldenbildung im Verlauf der Ätzung des Subj ötrates rührt von der Anwendung einer bestimmten Substrat_t etlft-Verbindung her, welche zu hermetischen Abdichtungen / alt Druck- bzw. Zugspannungen führtj diese Glas-Versiegelungs-' _{j. _; toereiche mit inneren Spannungen werden schneller geätzt * ! * als die Spannungsfreien Bereiche des Substratteils.The invention also relates to a method for producing such a display gas discharge device, according to which several cathode mounting pins are arranged in a glass substrate part in such a way that the end faces of the pins are aligned with the surface of the substrate part facing the viewer and the opposite ends of the pins on the opposite surface of the The substrate part survive, and that the surface of the substrate part facing the viewer is then etched in order to expose the individual pins, each with a certain part of their length,. in such a way that they protrude from the substrate surface remaining after the etching. In the course of the etching, a cup-shaped or cup-shaped notch or depression is formed in the substrate around the base of the individual pins. The formation of troughs in the course of the etching of the subjötrate is due to the use of a certain substrate _{/ t} etlft connection, which leads to hermetic seals / old compressive or tensile stresses j these glass sealing ' _{j . _; Tooiches with internal stresses are etched faster *! * as the stress-free areas of the substrate part.

;■-' Es wurde gefunden« daß die hervorstehende Anbringung der; ■ - 'It was found' that the protruding attachment of the

^; I Kathodensegmente und die Mulden bzw. Ausnehmungen die ι Auswirlcuag der Kathodenzerstäubung erheblich verringern und die Betriebslebensdauer der Anzeigevorrichtung ganz *i \ ■ erheblich verlängern. Man darf annehmen, daß die Zer- ^; I significantly reduce cathode segments and the depressions or recesses the ι Auswirlcuag cathode sputtering and more * i \ ■ significantly extend the operating life of the display device. One can assume that the

- stäubungsprodukte keine Tendenz zeigen, die steile Wand der Wapf- bzw. becherförmigen Ausnehmung zu überziehen, t so daß um jeden Stift herum eine im wesentlichen von Zer-- dust products show no tendency to cover the steep wall of the bowl or cup-shaped recess, t so that around each pin an essentially of disintegration

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stäubungsprodukten freie Bingfläche gebildet wird, die daher eine isolierende Barriere zwischen der mit den Zerstäubungsprodukten besprühten, und daher geringfügig leitfähigen, Substratoberfläche und den Stift bildet. Mit * anderen Worten werden die Kathodenelemente elektrisch frei von dem Substrat. Ein weiteres vorteilhaftes Merkmal der Erfindung besteht auch darin, daß eine Mehrfachanordnung von alphanumerischen Charakteren in einer einzigen hermetisch dicht abgeschlossenen Umhüllung ermöglicht wird.dust free bing area is formed hence an insulating barrier between that with the atomized products sprayed, and therefore slightly conductive, substrate surface and forms the pin. With * In other words, the cathode elements become electrically free from the substrate. Another advantageous feature of the invention is that a multiple arrangement of alphanumeric characters in a single hermetically sealed envelope.

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Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel einer Anzeige-Gasentladungsvorriehtung gemäß der Erfindung anhand der Zeichnung " " beschrieben; die Zeichnungsfigur zeigt die Vorrichtung in vereinfachter, auseinaridergezogener perspektivischer Ansicht.The following is an embodiment of a display gas discharge device according to the invention with reference to the drawing "" described; the drawing shows the device in a simplified, exploded perspective view.

Die gezeigte Vorrichtung weist ein Glassubstrat bzw. eine Glasträgerplatte 1 mit Öffnungen für eine Anzahl elektrischer Kontaktstifte 2 auf, die hermetisch dichtschließend mit dem Substrat verbunden sind. Auf der dem Betrachter zugewandten . Seite des Substrats 1 stehen die Enden der Stifte 2 aus der Substratoberfläche ein bestimmtes Stück frei heraus, bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel um etwa 0,005 Zoll. Auf'der gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats 1 stehen die Stifte ausreichend zum Eingriff mit (nicht dargestellten) entsprechenden Buchsenöffnungen über, mittels welcher die elektrischen Betriebsspannungen angelegt werden. Auf den dem ; Betrachter zugewandten Enden der Stifte 2 sind einzelne Kathodensegmente 3 angebracht* die mehrere herkömmliche . alphanumerische Konfigurationen bilden. Zusätzlich zu den _; alphanumerischen Kathodensegmenten 3 ist ein Kathodensegment 4 als Dezimalpunkt vorgesehen; des weiteren Kathodensegmente 5- und 6 zur Widergabe des Buchstaben L, sowie Kathodensegmentö 7, 8 und 9 zur Widergabe des Buchstaben R. Die gezeigte Segmentanordnung dient nur zur Erläuterung einer Ausführungsform der Erfindung für ein Flugzeuginstrument.The device shown has a glass substrate or a glass carrier plate 1 with openings for a number of electrical contact pins 2 which are hermetically sealed to the substrate. On the one facing the viewer. On the side of the substrate 1, the ends of the pins 2 protrude a certain distance from the substrate surface, in the embodiment shown by about 0.005 inches. On the opposite surface of the substrate 1, the pins protrude sufficiently to engage with corresponding socket openings (not shown) by means of which the electrical operating voltages are applied. On the that; The ends of the pins 2 facing the viewer are attached to individual cathode segments 3 * the several conventional ones. Form alphanumeric configurations. In addition to the _; alphanumeric cathode segments 3, a cathode segment 4 is provided as a decimal point; furthermore cathode segments 5- and 6 to reproduce the letter L, as well as cathode segments 7, 8 and 9 to reproduce the letter R. The segment arrangement shown serves only to explain an embodiment of the invention for an aircraft instrument.

Sämtliche Kathodensegmente liegen annähernd in der gleichen Ebene in im wesentlichen dem gleichen Abstand von dem Substrat 1; ·: das Substrat ist außerdem mit einer öffnung 11 versehen, mit welcher auf der den Kathodensegmenten gegenüberliegenden Seite des Substrats eine GasfUllröhre 12 hermetisch dichtschließend ; verbunden ist. In der Röhre 12 ist eine Queeksilberampulle .13 eingesetzt. Die Substratplätte 1 ist ferner mit zwei hermetisch! dicht durchgeführten Stiften lh und 15 zur elektrischen Kon- j taktierung des Anodenteils 16 derfAnzeige-Gasentladtmgsvor- ■ ·{ ■ . . ' . - - ■ ■ " ♦/· ^j All cathode segments lie approximately in the same plane at essentially the same distance from the substrate 1; ·: The substrate is also provided with an opening 11 with which a gas filling tube 12 closes hermetically on the side of the substrate opposite the cathode segments; connected is. A queek silver ampoule 13 is inserted in the tube 12. The substrate plate 1 is also hermetic with two! tightly carried out pins lh and 15 for electrical contacting of the anode part 16 of the display gas discharge device . . '. - - ■ ■ "♦ / · ^j

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richtung versehen.direction provided.

Das Anodenteil 16 besteht aus einem Glassubstrat, auf welchem ·. ein Dünnfilm 17 aus einem durchsichtigen, leitenden Material aufgebracht ist, derart, daß der Film die gesamte, den Kathodensegmenten und dem Substrat 1 zugewandte Oberfläche des Substrats 16 bedeckt. Das Substrat 1 ist von dem Anodenteil 16 durch eine Glasabstandsplatte 18 in Abstand gehalten, deren Hauptöffnung 19 zusammen mit dem Substrat 1 und der Anode 16 im zusammengebauten Zustand eine Kammer für ein ionisierbares Gas bildet, das bei Erregung der Anzeigevorrichtung Kathoden-Glimmentladungen erzeugt. Durch zwei öffnungen 20 und 21 der Abstandsplatte 18 führen Federkontakt© 22 und 23, die im gus ammengebaut en Zustand der Vorrichtung den elektrischen Kontakt zwischen den Stiften 14 und 15 einerseits und dem leitenden Film 17 auf der Anode 16 gewährleisten. Gemäß der Erfindung ist die Dicke der Abstandsplatte 18 durch den Anoden-Kathoden-Abstand und den Kathoden-Substratabstand bestimmt, die erforderlich sind, damit für einen gegebenen Gasdruck nur an j der Anodenseite der Kathodenelemente Glimmlichter auftreten, !wobei selbstverständlich die Dicke der Kathodenelemente selbst I zu berücksichtigen ist. In. dem gezeigten Ausführungsbeispiel hat die Äbstandsplatte eine Dicke von ö,04 Zoll, derart, daß unter Berücksichtigung der Dicke der Kathodensegraente der Anoden-Kathoden-Abstand 0,3 Zoll beträgt.The anode part 16 consists of a glass substrate on which ·. a thin film 17 of a transparent, conductive material is applied in such a way that the film covers the entire surface of the substrate 16 facing the cathode segments and the substrate 1. The substrate 1 is kept at a distance from the anode part 16 by a glass spacer plate 18, the main opening 19 of which, together with the substrate 1 and the anode 16 in the assembled state, forms a chamber for an ionizable gas which generates cathode glow discharges when the display device is excited. Spring contacts © 22 and 23 lead through two openings 20 and 21 of spacer plate 18, which ensure electrical contact between pins 14 and 15 on the one hand and conductive film 17 on anode 16 when the device is in its original state. According to the invention, the thickness of the spacer plate 18 is determined by the anode-cathode distance and the cathode-substrate distance, which are required so that glow lights occur only on the anode side of the cathode elements for a given gas pressure, with the thickness of the cathode elements themselves, of course I must be taken into account. In. In the embodiment shown, the spacer plate has a thickness of 0.04 inches, such that, taking into account the thickness of the cathode segments, the anode-cathode distance is 0.3 inches.

Na<äi einer Alternativausführung können die Anode 16 und das Abstandsteil 18, die im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel als getrennte Teile ausgebildet sind, zu einem einzigen, einstückigen Formteil zusammengefaßt sein, dessen Seitenwandungen auf die Abmessung abgeschliffen sind, die erforderlich; ist, daß sich der vorstehend erwähnte Abstand zwischen den Teilen ergibt. Nach dner weiteren AbwandlungsmSglichfceit; kann die durchsichtige Anode 16 als gesondertes, feißiaasehig«?f Ä netz, beispielsweise aus rostfreiem Stahl, ausgebildet s«i&*.In an alternative design, the anode 16 and the can Spacer 18, which are designed as separate parts in the embodiment described above, to a single, be combined in one piece molding, the side walls of which are ground to the dimensions that are required; is that the above-mentioned distance between the Sharing results. After further modification possible; can the transparent anode 16 as a separate, feißiaasehig «? f Ä network, for example made of stainless steel, formed s «i & *.

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jdas mit Stiften nach Art der Stifte 14 und 15 verschweißt ist, !die aus dem Substrat 1 so weit bevorstehen, daß sich die !genannten Anoden-Kathoden und Kathoden-Substrat abstände er-Jgeben. jthat is welded to pins like pins 14 and 15, ! Which are so far ahead of the substrate 1 that the ! Enter the specified anode-cathode and cathode-substrate distances.

Zusammenbau der gezeigten Ausführungsform einer Anzeigevorrichtung gemäß der^Erfindung werden die Teile 1, 16 und 18 _v in gegenseitiger Ausrichtung gegeneinandergelegt und sodann entlang den gesamten Handflächen der aneinander!legenden Teile hermetisch dichtschließend miteinander verbunden. Mittels herkömmlicher Verfahren wird die Gasatmosphäre innerhalb der hermetisch abgedichteten Vorrichtung gereinigt und sodann die Vorrichtung mit einem geeigneten ionisierbaren Gas und einem Quecksilbervorrat in der Ampulle 13 gefüllt und dieht^veröchlossen. Das Quecksilber wird in bekannter Weise zu einem gewünschten Zeltpunkt während des Herstellungsverfahrens in äie abgeschlossene GasatmosphMre freigegeben* Mach dieser Freigabe stellt das Quecksilber in der Gasfüllung einen Anteil an einem Gas von hohem Molekulargewicht dar, von dem angenommen wird, daß es die Kathodenzerstäubung inhibiert, und sswar dadurch» daß es einen wesentlichen Teil der kinetischen Bnergie der ionisierten Gaspartikel aufnimmt, bevor diese die Kathoäensegmente bombardieren.Assembly of the embodiment shown a display apparatus according to the ^ invention, the parts 1, 16 and 18 _v against superimposed in mutual alignment, and then along the whole palms of each other! Parts defining connected hermetically together. The gas atmosphere inside the hermetically sealed device is cleaned by means of conventional methods and the device is then filled with a suitable ionizable gas and a supply of mercury in the ampoule 13 and closed with a plug. The mercury is released in a known manner at a desired point during the manufacturing process in a closed gas atmosphere This is because it absorbs a substantial part of the kinetic energy of the ionized gas particles before they bombard the cathode segments.

Öle ©laselnen Kathodensegraeßte 3 bis 9 sind jeweils durch Scb^eiBung ©äer anderweitig am Ende des betreffenden Stifts befestigt* der aus- der Oberfläche des Substrats 1 um den be-3%iß!Sffe# Bsferag herajusstehfc, der erforderlich ist, daß die ©b©E §rw£tui&@& Äbstandsbedingungen erfüllt sindj im gezeigten Äösftlhrungstseispiel stehen die Stifte, wie bereits erwähnt,Oils © laselnen Kathodensegraeßte 3 to 9 are each through Note elsewhere at the end of the pen in question attached * the out- the surface of the substrate 1 to the be-3% eat! Sffe # Bsferag herajusstehfc, who is required that the © b © E §rw £ tui & @ & Distance conditions are fulfilled in the shown Leading example are the pins, as already mentioned,

0,005 Zoll aus der Oberfläche feei-vor» GemäJ der Erfindung i^ daß die Enden der Stifte 2, an welchen die0.005 inches from the surface feei-before "According to the invention i ^ that the ends of the pins 2 on which the

befestigt sind, im wesentlichen in ein und -derselben, fcur Oberfläche des Substrats 1 parallelen Ebeneare attached, essentially in one and -the same plane parallel to the surface of the substrate 1

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liegen, und zwar wird dies durch einen Ätzvorgang erreicht. Hierzu wird in der Weise vorgegangen, daß die Durohfünrstifte in den betreffenden öffnungen des Subetratkörpers 1 eingesetzt werden* derart, daß ihreJEnden mit der dem Betrachter augewandten Oberfläche des Substrats fluchten. Sodann werden die Stiftelie, and this is achieved by an etching process. To do this, the procedure is that the Durohfünrstifte inserted in the relevant openings of the substrate body 1 are * in such a way that their ends face the viewer Align the surface of the substrate. Then the pens

hermetisch dichtschließend mit dem Substratkörper verbunden, beispielsweise duroh eine Glas-Metall-Versiegelung, welche auf Ovuek beanspruchte Bereiche um den jeweiligen Umfang der Stifte her ure erzeugte Sodann wird die dem Betrachter zugewandte Oberf uiehe des Substratkörpers auf chemischem Wege mit der erforderlichen Tiefe von 0,005 Zoll bezüglich der ursprünglichen Oberfläche geätzt derart, daß jeweils die gewünschte längr der einzelnen Stifte über der geätzten Oberfläche freigelegt werden.hermetically bonded to the substrate body, for example duroh a glass-to-metal seal, which on Ovuek stressed areas around the respective peripheries of the pins forth acid produced is then facing the viewer Oberf uiehe of the substrate body by chemical means with the required depth of 0.005 inches with respect to the original surface etched in such a way that the desired length of the individual pins are exposed above the etched surface.

Der Ätzvorgang erzeugt gleichzeitig jeweils eine napf- bzw. becherförmige Einkerbung bzw. Maic-a 24 um die Grundfläche der einzelnen Stifte 2 herum, und ε,/ar infolge des Umstandes, daß das Ätzsaittel jeweils den unter inneren Spannungen stehenden Glas-Mei,^. i-Yersiegelungsbereich um jeden Stift herum mit größere,, atzgescnw-ndigkeit als das nicht in der Nachbarschaft der 0 a=-Mefcall-Versiegelungen befindliche Olassubstrat, d.h. den spannungsfreien Teil des Substrats, angreift. Als Ätzmittel eignet sich eine Lösung von Flucr-Wasserstoffsäure in destilliertem V/asser. Es wurde gefunden, daß die Geschwindigkeit, mit welcher sich Kathoden-Zerstäubungsmaterial auf der Oberfläche des Substrats 1 in ausreichender Menge abscheidet, um widerstandsarme Pfade zwischen den Kathodensegraenten zu ergeben, durch die Ätzmulden 24 erheblich herabgesetzt wird, im Vergleich zu der Geschwindigkeit ohne diese Ätzmulden. Man darf annehmen, daß diene Verringerung der Geschwindigkeit des Aufbaus widerstandsarmer Pfade darauf zurückzuführen ist, CaQ die freiliegende Oberfläche zwischen benachbaifeen StiftenThe etching process simultaneously produces a cup-shaped or cup-shaped notch or Maic-a 24 around the base of the individual pins 2 , and ε, / ar due to the fact that the etching agent in each case the glass Mei, ^ . The sealing area around each pin attacks with greater etching speed than the oil substrate that is not in the vicinity of the 0 a = -efcall seals, ie the stress-free part of the substrate. A solution of hydrofluoric acid in distilled water is suitable as the etching agent. It has been found that the rate at which cathode sputtering material deposits on the surface of the substrate 1 in sufficient quantity to provide low-resistance paths between the cathode segments is significantly reduced by the etching pits 24 compared to the rate without these etching pits . It is believed that the decrease in the rate of establishment of low resistance paths is due to the CaQ the exposed surface between adjacent pins

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duroh die Ätzmulden 24 um die Basis der Stifte herum vergrößert wird. Man darf ferner auch annehmen, daß die Zerstäubungsprodukte keine Tendenz zeigen, die verhältnismäßig steilen Wände der Ätzmulden 24 zu bedecken, wodurch um die Stifte herum jeweils ein isolierender Ringraum erzeugt wird. Somit wird für eine gegebene Zerstäubungsgeschwindigkeit die zur Ab-. scheidung einer schädlichen Leiterschicht auf den freiliegenden Oberflächen erforderljdie Zeitdauer durch die Erfindung ganz wesentlich erhöht. Dies hat eine erhebliche Verlängerung der Betriebslebensdauer der Anzeige-Oasentladungsvorrichtung gemäß der Erfindung zur Folge. by enlarging the etch wells 24 around the base of the pins. It can also be assumed that the sputtering products show no tendency to cover the relatively steep walls of the etching troughs 24, thereby creating an insulating annulus around each of the pins. Thus, for a given atomization rate, the for-. discriminating a harmful conductor layer on the exposed surfaces of he f orderljdie period quite substantially increased by the invention. This results in a considerable extension of the service life of the display oase discharge device according to the invention.

In dem beschriebenen Ausführungebeiepiel bilden sich die napfförmigen Vertiefungen bzw. Mulden 24 als Folge der verwendeten Olae-Metall-Versiegelung, die zu Verspannuageberelohen u* dl« Stifte 2 herum führt, welche wiederum von der Ätzung mit einer gröieren Xt»geschwindigkeit als die spannungsfreien Bereiche angegriffen werden; selbstverständlich können J«4ooh auch mannigfache andere Verfahren Anwendung finden« u« dl· erwähnten Mulden herzustellen, ohne daß hierdurch der Raheen der Erfindung verlassen würde. Beispielswelse können die Mulden auf rein mechanischem Wege« auf rein chemischen Wege oder mittels einer Kombination beider erzeugt werden. In the exemplary embodiment described, the cup-shaped depressions or depressions 24 are formed as a result of the oleo-metal sealing used, which leads to tension-relieving pins 2, which in turn result from the etching at a greater speed than the tension-free areas to be attacked; of course J "can 4ooh also find a variety of other methods use" u "dl · mentioned wells produce, without this the Raheen the invention would leave. For example, the troughs can be created purely mechanically, purely chemically, or by means of a combination of both .

- Patentansprüche -- patent claims -

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Claims

Patentans prUehePatent application

nzeige-Gasentladungsvorrichtung mit einem die Kathode tragenden Substratteil und einer mit dieser unter Bildung einer Kammer für das ionisierbare Gas hermetisch dichtschließend verbundenen durchsichtigen Anode, durch welche hindurch die Kathoden-Glimmlichter für den Betrachter sichtbar sind, dadurch gekennzeichnet , daß durch das Substratteil (i) mehrere elektrisch leitende Stifte (2) hermetisch dichtschließend hindurchgeführt sind» dl· auf d«r dem Betrachter zugewandten Oberfläche des Sub- »tratttil» (l) Uberdsheft und an den überstehenden Enden Xathod*n»«tg»ente (3 bis 9) trag·», und dal die Anod· (16) Ia »cltitvm Abstand von ds« Substrat (1) und den Kathod«ns«t**nten (jj bis 9) »nfeordnat ist, daß der Anoden-Kathoden-Abefcaad undidcr Kathoden-Substrat-Abstand für einen vorgegebenen Druik des in d·» abf eschloee«n«si Baum zwischen der Anode und der Kathodü «nthalteneB lonisierbaren Gases cewXhrl9lst#n_e daB dl· Kathod*n*«a»8Tit« (3 bis 9) b«i Erregung nur an der dem Betrachter zugewandten Seite glimmen«Display gas discharge device with a substrate part carrying the cathode and a transparent anode connected hermetically sealed to form a chamber for the ionizable gas, through which the cathode glow lights are visible to the viewer, characterized in that the substrate part (i) several electrically conductive pins (2) are passed through hermetically sealed »dl · on the surface of the sub-» tratttil »(l) cover booklet facing the viewer and on the protruding ends Xathod * n» «tg» duck (3 to 9) wear · », and since the anode · (16) Ia» cltitvm the distance from the «substrate (1) and the cathode« ns «t ** nth (jj to 9)» nfeordnat, that the anode-cathode Abefcaad undidcr cathode-substrate distance of the in d · "abf eschloee" n "si tree for a given Druik between the anode and the Kathodü" nthalteneB lonisierbaren gas cewXhrl9lst # n _e Dab dl · Kathod * n * «a» 8Tit "(3 to 9) arousal only at that given to the viewer ndth side glow «

2. Anaeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η -zeichnet, daß Jsweil* u« die Basis der einzelnen Stifte (2) in der dem Betrachter zugewandten Oberfläche des Sübstratt*41s (1) eine Einkerbung bzw. Mulde (24) vorgesehen ist.2. Anaeigevorrichtung according to claim 1, characterized g e k e η η -draws that Jsweil * u «the base of the individual Pins (2) a notch or depression (24) is provided in the surface of the Sübstratt * 41s (1) facing the viewer.

>, Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkerbung bzw. Mulde (24) um die Grundfläche der einzelnen Stifte (2) becherförmig 1st*>, Display device according to claim 2, characterized in that the notch or depression (24) around the base of the individual pins (2) is cup-shaped *

4. Anzeigevorrichtung nach einera oder mehreren der vorhergehend®» Ansprüche, dadurch g · k"* η η ζ ei ο h η e t*4. Display device according to one or more of the preceding® »claims, characterized in that g · k" * η η ζ ei ο h η e t *

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that the end faces carrying the cathode segments (3 to 9) of the pins (a) eats a like one & s ,, on the neighboring substrate · o & erflaehe (1) lay parallel plane.

3ο f ^ FtsJcwBL · Sm? -Manufacture the -th

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