DE2644027C3 - Tastkopf - Google Patents

Tastkopf

Info

Publication number
DE2644027C3
DE2644027C3 DE2644027A DE2644027A DE2644027C3 DE 2644027 C3 DE2644027 C3 DE 2644027C3 DE 2644027 A DE2644027 A DE 2644027A DE 2644027 A DE2644027 A DE 2644027A DE 2644027 C3 DE2644027 C3 DE 2644027C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
button
bearing
probe
probe head
head according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2644027A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2644027A1 (de
DE2644027B2 (de
Inventor
David Roberts Wotton-Under- Edge Gloucestershire Mcmurtry (Grossbritannien)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renishaw PLC
Original Assignee
Rolls Royce PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rolls Royce PLC filed Critical Rolls Royce PLC
Publication of DE2644027A1 publication Critical patent/DE2644027A1/de
Publication of DE2644027B2 publication Critical patent/DE2644027B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2644027C3 publication Critical patent/DE2644027C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Description

Gegenstand des Hauptpatents 23 47 633 ist ein Tastkopf, dessen Taster durch eine Rückstellkraft in eine die Nullstellung bestimmende Lagerung gedrängt wird, aus welcher heraus er relativ zu seiner Halterung in einer Richtung verschiebbar und in mindestens einer Richtung kippbar ist, und der eine Einrichtung zur Erfassung der Tasterauslenkung aufweist, wobei die Lagerung zwei in der Halterung räumlich zueinander versetzt angeordnete Lagerstellen aufweist, an denen jeweils zueinander konvertierende Flächen mit einer Gegenfläche zusammenwirken und wobei die konvergierenden Flächen und die Gegenflächen relativ zueinander gekrümmt sind.
Ein solcher Tastkopf findet in Prüfmaschinen Anwendung, bei welchen jedesmal dann ein den jesveiligen Koordinatenwert der Tastkopfposition angegendes Signal erzeugt wird, wenn der Taster ein zu prüfendes Werkstück berührt
Der aus dem Patent 23 47 633 bekannte Tastkopf arbeitet vor allem dann zufriedenstellend, wenn eine Tasterauslenkung quer zur Richtung seiner Verschiebbarkeit erfolgt Hinsichtlich derTasterausienkung in Richtung seiner Verschiebbarkeit sind jedoch bei dem aus dem Hauptpatent bekannten Tastkopf insofern Grenzen gesetzt, als es nicht möglich ist, eine in dem gewünschten Umfang vereinfachte längliche Tasterform /u wählen und trotzdem eine Erfassung der Tasierverschiebung in Tasterlängsrichtung zu ermöglichen, bzw. eine Tasterauslenkung in beiden Richtungssinnen der Tasterlängsrichtung nicht möglich ist, ohne daß erhebliche Schwierigkeiten hinsichtlich der Eidrichtung zur Erfassung der Tasterauslenkung auftreten.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, den Tastkopf nach dem Hauptpatent dahingehend zu verbessern und weiter auszubilden, daß bei einfachster Gestalt sowohl des Tasters selbst als auch der Tasterlagerung und der Einrichtung zur Erfassung der Tasterauslenkung eine zuverlässige Erfassung der Tasterauslenkung in jeder beliebigen Tasterauslenkungsrichtung gewährleistet ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein solcher Tastkopf gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die konvergierenden Flächen an einer der beiden Lagerstellen so angeordnet sind, daß sie den Taster in der einen Richtung verschiebbar lagern, und daß die konvergierenden Flächen an der anderen Lagerstelle so angeordnet sind, daß sie den Taster um eine zu der genannten Verschiebbarkeitsrichtung senkrechten Achse kippbar lagern und Tasterverschiebungen entgegenwirken, und daß die Einrichtung zur Erfassung der Tasterauslenkung einen seitlich des Tasters angeordneten Annäherungsfühler aufweist.
Mit der erfindungsgemäßen Anordnung der Tasterlagerung wird der Fortschritt erzielt, daß der Taster eine sehr einfache längliche Form erhalten kann und daß trotzdem jede Tasterauslenkung in Richtung seiner Verschiebbarkeit ebenso eindeutig wie jede Tasterauslenkung quer zur Richtung seiner Verschiebbarkeit erfaßbar ist. Bei Auslenkungen in der Verschiebbarkeitsrichtung gleitet die mit den konvergierenden Flächen der solchen Taslverschiebungen entgegenwirkenden Lagerstelle zusammenwirkende Gegenfläche des Tasters längs dieser konvergierenden Flächen in Richtung aus der Lagermulde heraus, so daß der Taster eine Kippbewegung ausführt und sich von dem seitlich angeordneten Annäherungsfühler wegbewegt. Darüber hinaus gestattet die erfindungsgemäße Anordnung im Gegensatz zum Tastkopf nach dem Hauptpatent, bei welchem eine Tasterauslenkung nur in einem Rieh-
tungssinn der Verschiebbarkeitsriehtung möglich ist, Tasterauslenkungen in beiden Richtungssinnen der Verschiebbarkeitsrichtung.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend mit Bezug auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigt
F i g. 1 eine Ansicht eines Tastkopfes nach der Erfindung,
F i g. 2 einen Schnitt längs der Ebene 11-11 in F i g. 1,
Fig. 3 einen Schnitt längs der Ebene IH-I Il in Fig. 1, und
F i g. 4 einen abgewandelten Taster.
Gemäß den Fig. I bh 3 weist der Taster 9 eine Tastspitze 10 auf, die an einem stabförmigen Tasterschaft 11 mit einer Längsachse 11a befestigt ist, welch letztere normalerweise in Richtung der Z-Ordinate verläuft. An ihrem Ende trägt die Tastspitze 10 eine Scheibe 12 zur Abtastung eines Werkstückes 13. Der Tasterschaft 11 ist in einem Tastergehäuse 14 gelagert, das einen Zapfen 15 zum Einspannen des Tastkopfes in eine nicht dargestellte Meßmaschine aufweist, in welcher der Tastkopf dreidimensional relativ zum Werkstück beweglich ist
Der Taster 9 ist im Gehäuse 14 an zwei Stellen A und B gelagert, die längs der Achse 11a mit gegenseitigem Abstand angeordnet sind. An der Lagerstelle A ist am Taster 9 eine Kugel 16 angeformt, die in einer achsensymmetrischen Lagernulde 17 liegt, welch letztere durch zueinander konvergierende Flächen 20 dreier mit gleichen gegenseitigen Abständen im Gehäuse angeordneten Kugeln 18 gebildet ist. Die Mittelpunkte dieser Kugeln liegen in einer Ebene 19, die sich längs der V-Ordinate und der Z-Ordinate erstreckt, so daß die Symmetrieachse 17a der Mulde 17 senkrecht zur Achse 11a verläuft. Die Beweglichkeit der Kugel 16 ist also durch die Lagermulde 17 auf eine Drehbewegung um die Achse 17a beschränkt und die Lagermulde wirkt einer Bewegung der Kugel 16 in der Y-Z-Ebene entgegen.
An der Lagerstelle B weist der Taster 9 einen zylindrischen Bund 21 auf, der konzentrisch mit der Achse 1 la ist und in einer Lagerkerbe 22 liegt, die durch zueinander konvergierende Flächen 23 zweier Kugeln 24 gebildet ist, deren Mittelpunkte in der Ebene 19 auf einer zur ^chse 17a senkrechten Linie liegen. Die Flächen 23 beschränken die Beweglichkeit des zylindrischen Bundes 21 auf eine Verschiebung in der Z-Richtung und wirken so einer andernfalls möglichen Drehung der Tastspitzc in der K-Z-Ebene um den Mittelpunkt der Kugel 16 herum entgegen.
Der Tas'er 9 ist durch eine Feder 25, die an einer Zwischen den beiden Lagerstellen A und B gelegenen Stelle zwischen dem Gehäuse 14 und dem Tasterschaft 11 angeordnet ist, zj den Kugeln 18 und 24 vorgespannt. Bei Berührung mit allen fünf Kugeln 18 und 24 befindet sich der Taste1· 9 in seiner Nullstellung und wird durch die Vorspannkraft der Feder 25 und die Konvergenz der Kugeloberfläche in dieser Nullstellung gehalten, da die Vorspannkraft der Feder 25 die Kugel 16 und den Bund 21 des Tasters in die tiefstmögliehe Stellung der bO Lagermulde 17 und der Lagerkerbe 22 hineindrängt. Wie noch erläutert wird, Ist der Taster 9 aus seiner Nullstellung entgegen der Rückstellkraft der Feder auslenkbar, wenn infolge einer Berührung mit dem Werkstück eine Kraft auf die Scheibe 12 ausgeübt wird, M Beim Aufhören dieser Kraft wird der Taster 9 durch die genannte Rückstellkraft wieder in seine Nullstellung gedrängt.
Jede Bewegung des Tasters 9 relativ zum Gehäuse 14 ist mittels eines Metall-Annäherungsfühlers 26 erfaßbar, der in einem aus Kunststoff bestehenden Teil des Gehäuses angeordnet ist. Zum Zwecke der Erfassung einer Tasterauslenkung wird von der Tatsache Gebrauch gemacht, daß eine Auslenkung der Scheibe 12 in irgendeiner Richtung der Ordinaten Y und Z zu einem Kippen des Tasters 9 führen muß, aufgrund welcher die Achse lia des Tasterschaftes aus dem Parallelitätszustand mit der V-Z-Ebene herausbewegt wird. Demgemäß bedingt eine Tasterbewegung in der V-Richtung, daß der zylindrische Bund 21 an der einen oder anderen der beiden Kugelflächen 23 hinaufgleitet und dadurch der Taster 9 um die Achse 17a herum und aus der V-Z-Ebene herausgeschwenkt wird. In ähnlicher Weise bedingt eine Tasterbewegung in der Z-Richtung ein Hinaufgleiten der Kugel 16 auf mindestens eine der drei Kugeln 18 und folglich ein Kippen des Tasters 9 auf den Kugeln 24. Eine Tasterbewegung in der X-Richtung zieht ein Kippen des Tasters 9 auf den Kugeln 18 oder den Kugeln 24 nach sich. Jede dieser Tasttrbewegungen ist an einem im wesentlichen in der Mitte zwischen den beiden Lagerstellen A und B befindlichen Teil 27 des Tasterschaftes 11 feststellbar, und der Annäherungs-Fühler 2ό ist demgemäß in einer diesem Tasterschaftteil 27 benachbarten Position und derart angeordnet, daß er Bewegungen dieses Tasterschaftteils senkrecht zur Y-Z- Ebene feststellen kann.
Es ist erkennbar, daß Tasterbewegungen längs der X-. Y- und Z-Ordinaten jeweils in beiden Richtungssinnen stattfinden können. Beispielsweise kann eine Bewegung der Scheibe 12 in der Z-Richtung sowohl zum Gehäuse 14 hin als auch von diesem weg stattfinden. Der letzetere Fall tritt auf, wenn die Meßmaschine die Scheibe 12 zu einer unterschnittenen Werkstückoberfläche 13a hin anhebt.
Wenn der Tastkopf nach einer Berührung mit dem Werkstück so bewegt wird, daß die Berührung mit dem Werkstück aufhört und die auf die Scheibe 12 wirkende Kraft aufhört, so drängt die durch die Feder 25 erzeugte Rückstellkraft die Kugel 16 und den Bund 21 wieder entlang der konvergierenden Flächen in die tiefste Stellung der Lagermulde 17 und der Lage: kerbe 22 hinein, so daß der Taster 9 wieder in sei'-e Nullstellung zurückgeführt wird.
Damit gute Gleiteigenschaften und eine hohe Reproduzierbarkeit der Nullstellung des Tasters gewährleistet sind, sind die Elemente 16 und 21 des Tasters und die Lagerkugeln 18 und 24 aus gehärtetem Stahl hergestellt und poiiert. Handelsübliche Kugellager-Oberflächenqualitäten sind für diesen Zweck ausre: chend.
Dei Annäherungs-Fühler 26 ist an sich bekannt und weist beispielsweise zwei elektromagnetische Induktionsspulen 28 und 29 auf. die derart in eine Brückenschaltung 30 geschaltet sind, daß eine Änderung des Blindwiderstandes einer der beiden Spulen, wie sie durch eine Lageänderung des Tasters 9 erzeugt wird, eine Änderung des Brückenausgangssignals, beispielsweise aus einem Nullwert heraus, herbeiführt. Das Brückenausgangssignal wird über einen Verstärker 31 einer geeigneten Anzeigeeinrichtung zugeführt, beispielsweise einem Voltmeter.
Die Meßmaschinr, bei der der erfindungsgemäße Tastkopf Anwendung findet, ist an sich bekannt, und weist grundsätzlich einen auf beweglichen Schlitten angeordneten Meßkopf auf, wobei die Schlitten in der X-, Y' und der Z-Richtune verschiebbar sind. Die
Schlitten sind mit Mitteln zur Messung der koordinatenmäßigen Position des Meßkopfes und folglich des daran befestigten Taslkopfes versehen Ein Werkstück wird dadurch vermessen, daß die Position des Meßkopfes in demjenigen Augenblick gemessen wird, wenn bei einer Berührung zwischen der Abtast-Scheibe 12 des Tasters 9 und dem Werkstück 13 sich das Ausgangssignal des Annäherungs-Fühlers 26 ändert.
Es ist klar, daß der Taster 9, falls keine Gegenmaßnahmen getroffen sind, um die Achse Ua drehbar ist. Darin ist jedoch kein Nachteil zu sehen, da das abtastende Tasterende drehsyinmelrisch mit Bezug auf die Achse Ha ausgebildet ist* beispielsweise durch die Scheibe 12, so daß die Drehwinkelposition des Tasters mit Bezug auf die Achse 1 la belanglos ist
Wenn jedoch das messende Tasterende seitwärts mit Bezug auf die Achse 11a versetzt ist, wie es bei der in F i g. 4 gezeigten Ausführungsform des Tasters mit einer seitwärts rügenden i" einer Ku"s! 33 endigenden Tastspitze 32 der Fall ist, ergibt sich die Notwendigkeit, eine Drehung des Tasters 9 um die Achse 11a herum zu verhindern.
Wie in den F i g. 1 und 2 gezeigt ist, ist am Taster 9 ein seitwärts ragender Afffi 34 angeordnet, dessen freies Ende 35 mit einer konvexen Anlagefläche versehen ist, die an einer Stelle Can einer ebenen Gegenfläche 36 des Gehäuses 14 anliegt. Die Feder 25 ist zwischen dem Arm 34 und dem Gehäuse an einer Stelle angeordnet, die näher zum Ende 35 des Armes 34 als zur Achse 11 a hin gelegen ist, dais der erförderliche Vörspanndruck an den Lagerstellen Λ und B kleiner als an der Stelle C ist. Es können jedoch auch gesonderte Federn an der Stelle
to Cund direkt zwischen den beiden Lagerstellen A und B Anwendung finden.
Unter dem oben erwähnten Ausdruck »achsensymmetrische Lagermulde« ist aber auch eine konische Muldezu verstehen, die anstelle der durch die Kugeln 18
gebildeten Mulde Anwendung finden kann. An beidßn Lagerstellen A und B können die Lagermulde 17 bzw. die Lägerkerbe 22 jeweils entweder am Taster 9 oder am Gehäuse 14 angeordnet sein, wobei die damit
Plpmnnt»
rl Oi
am iail/a
anderen Teil gebildet sind. Anstelle des einen dargestellten Annäherungs-Fühlers 26 können auch zwei derartige Fühler jeweils an den Lagerstellen A und B vorgesehen sein.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Tastkopf, dessen Taster durch eine Rückstellkraft in eine die Nullstellung bestimmende Lagerung gedrängt wird, aus welcher heraus er relativ zu seiner Halterung in einer Richtung verschiebbar und in mindestens einer Richtung kippbar ist, und der eine Einrichtung zur Erfassung der Tasterauslenkung aufweist, wobei die Lagerung zwei in der Halterung räumlich zueinander versetzt angeordnete Lagerstellen aufweist, an denen jeweils zueinander konvergierende Flächen mit einer Gegenfläche zusammenwirken und wobei die konvergierenden Flächen und die Gegenflächen relativ zueinander gekrümmt sind, nach Patent 23 47 633, dadurch gekennzeichnet, daß die konvergierenden Flächen (23) an einer (B) der beiden Lagerstellen (A, B) so angeordnet s.ind, daß sie den Taster (9) in der einen Richtung (Z) verschiebbar lagern, und daß die konvergierenden Flächen (20) an der anderen Lagerstelle (A) so angeordnet sind, daß sie den Taster (9) um eine zu der genannten Verschiebbarkeitsrichtung (Z) senkrechten Achse (i7a) kippbar lagern und Tastver-Schiebungen entgegenwirken und daß die Einrichtung zur Erfassung des Tasterauslenkung einen seitlich des Tasters (9) angeordneten Annäherungsfühler (26) aufweist
2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, άι Ί die konvergierenden Flächen (20) an der Tasterverschiehungen entgegenwirkenden Lagerstelle (A) drei Kugelflächen sind, deren Krümmungsmittelpunkte mit gleichen gegenseitigen Abständen in einer zu der genannten Verschiebbarkeitsrichtung fZJ parallelen Ebene (19) liegen.
3. Tastkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die an der Tasterverschiebungen entgegenwirkenden Lagerstelle (A) mit den korn ergierenden Flächen (20) zusammenwirkende Gegenfläche ebenfalls eine Kugelfläche (16) ist.
4. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis. \ dadurch gekennzeichnet, daß der Taster (9) auf den zueinander konvergierenden Flächen (20,23) an den beiden Lagerstellen (A, B) um die Tasterlängsachse (HjJ herum drehbar ist, und daß der Taster (9) an einer zwischen den beiden Lagerstellen (A, B) gelegenen Stelle einen quer verlaufenden Arm (34) aufweist, dessen freies Ende (35) sich an einer Gegenfläche (36) der Halterung (14) abstützt, und daß ein Vorspannelement (25) das freie Ende des Armes (34) gegen die Gegenfläche (36) drängt.
5. Tastkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Vorspannelement (25) eine zwischen der Tasterlängsachse (Wa)und dem freien Ende (35) des Armes (34) angreifende gleichzeitig die Rückstellkraft für den Taster (9) liefernde Feder ist.
6. Tastkopf nach einem der Ansprüche I bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Annäherungsfiih- 6Q ler (26) an einer zwischen den beiden Lagerstellen (A, B) des Tasters (9) gelegenen Stelle angeordnet ist.
DE2644027A 1975-10-04 1976-09-30 Tastkopf Expired DE2644027C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB40718/75A GB1568053A (en) 1975-10-04 1975-10-04 Contactsensing probe

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2644027A1 DE2644027A1 (de) 1977-04-14
DE2644027B2 DE2644027B2 (de) 1978-03-23
DE2644027C3 true DE2644027C3 (de) 1979-04-19

Family

ID=10416278

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2644027A Expired DE2644027C3 (de) 1975-10-04 1976-09-30 Tastkopf

Country Status (6)

Country Link
US (2) US4301338A (de)
JP (1) JPS5263358A (de)
DE (1) DE2644027C3 (de)
FR (1) FR2326681A1 (de)
GB (1) GB1568053A (de)
IT (1) IT1074001B (de)

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4136458A (en) * 1976-10-01 1979-01-30 The Bendix Corporation Bi-axial probe
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
DE2947394A1 (de) * 1979-11-24 1981-05-27 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen
IT1145540B (it) * 1981-11-20 1986-11-05 Finike Italiana Marposs Testa per il controllo di dimensioni lineari
JPS58140404U (ja) * 1982-03-16 1983-09-21 株式会社ミツトヨ タッチ信号プロ−ブ
US4461936A (en) * 1982-03-18 1984-07-24 Yaskawa Electric Mfg. Co., Ltd. Contact sensing device
JPS58196404A (ja) * 1982-05-11 1983-11-15 Mitsutoyo Mfg Co Ltd タッチ信号プロ−ブ
JPS5961077U (ja) * 1982-10-15 1984-04-21 中島 健吉 スピ−カ付きパチンコ機
JPS59131002U (ja) * 1983-02-21 1984-09-03 株式会社ミツトヨ タツチ信号プロ−ブ
US4509265A (en) * 1983-03-21 1985-04-09 General Electric Company Turbine blade measurement
US4553001A (en) * 1983-12-05 1985-11-12 Gte Valeron Corporation Touch probe having nonconductive contact carriers
US4523063A (en) * 1983-12-05 1985-06-11 Gte Valeron Corporation Touch probe having nonconductive contact carriers
CH663841A5 (de) * 1984-05-28 1988-01-15 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag Zahnmesstaster.
US4786769A (en) * 1985-03-06 1988-11-22 Process Equipment Company Safety coupling device for robotic tooling
US4683354A (en) * 1985-06-28 1987-07-28 Litton Systems, Inc. Apparatus for supporting and aligning equipment
US4734549A (en) * 1985-11-25 1988-03-29 Rin Ei Seiki Kabushiki Kaisha Touch sensor
EP0242710B1 (de) * 1986-04-17 1990-07-25 Renishaw plc Probe für Kontakt-Sensor
JPS633881U (de) * 1986-06-27 1988-01-12
DE3773899D1 (de) * 1986-09-03 1991-11-21 Renishaw Plc Signalverarbeitung fuer beruehrungstastkopf.
JPS63188709A (ja) * 1987-01-30 1988-08-04 Nobuo Fukuhisa 位置検出器
JPS63140348U (de) * 1987-03-05 1988-09-14
CH672370A5 (de) * 1987-09-15 1989-11-15 Tesa Sa
CH674485A5 (de) * 1988-03-11 1990-06-15 Saphirwerk Ind Prod
US5410334A (en) * 1990-09-19 1995-04-25 International Business Machines Corporation Switch for pen-down sensing in electronic styli
EP0572800A1 (de) * 1992-05-06 1993-12-08 Baumer Electric Ag Tastfühler
GB2302588B (en) * 1995-06-21 1998-05-20 Zeiss Stiftung Probe changing system
JP3267116B2 (ja) * 1995-09-19 2002-03-18 ミノルタ株式会社 接触式センサおよび移動体
DE29612475U1 (de) * 1996-07-18 1996-09-19 Zeiss Carl Fa Tastkopf
DE10101925B4 (de) * 2001-01-16 2006-08-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Taststift
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7519493B2 (en) 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US6973734B2 (en) 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
US7246030B2 (en) 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
JP2005517909A (ja) * 2002-02-14 2005-06-16 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド 多関節アームを有する可搬式座標測定器
US6593536B1 (en) * 2002-05-21 2003-07-15 Daimlerchrysler Corporation Multi-axis switch with redundant contacts
US7268567B2 (en) * 2005-02-04 2007-09-11 Research In Motion Limited Probe assembly with multi-directional freedom of motion and mounting assembly therefor
KR100868635B1 (ko) * 2007-05-16 2008-11-12 주식회사 동부하이텍 반도체 소자 검사 장치
US20090299687A1 (en) * 2007-08-07 2009-12-03 United Technologies Corporation Reverse engineering disk inspection
CN104115621B (zh) * 2014-05-06 2016-04-06 杭州菲沃机器人科技有限公司 360゜全方位障碍物检测机构及带有该机构的智能割草机
GB2571577B (en) * 2018-03-02 2022-04-20 Elcometer Ltd Probe and cap therefor
US11543899B2 (en) * 2018-11-01 2023-01-03 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position and including coil misalignment compensation
US11644298B2 (en) * 2018-11-01 2023-05-09 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position
US11740064B2 (en) 2018-11-01 2023-08-29 Mitutoyo Corporation Inductive position detection configuration for indicating a measurement device stylus position
CN112757631B (zh) * 2020-12-21 2022-11-11 深圳市创想三维科技股份有限公司 一种3d打印机的自动调平装置及3d打印机
US11709045B1 (en) * 2022-02-19 2023-07-25 National Institute Of Metrology, China Surface texture probe and measurement apparatus with a vibrational membrane

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1840853A (en) * 1928-09-06 1932-01-12 Pratt & Whitney Co Contouring tracer
US2758195A (en) * 1954-03-23 1956-08-07 Ludwig Louis Lamp with tiltable light switch
US3016619A (en) * 1957-12-19 1962-01-16 Kurt H Mueller Depth and groove locating gage
US2994502A (en) * 1957-12-23 1961-08-01 Mach Works Inc Hydraulic tracer valve
US3024334A (en) * 1958-09-12 1962-03-06 Hurletron Inc Ball contacting device
US3056867A (en) * 1959-05-08 1962-10-02 Jay M Eitel Insulated control mechanism and system
US3216118A (en) * 1963-06-14 1965-11-09 Pistoles Lambert Robert Dial indicator
US3212325A (en) * 1963-07-30 1965-10-19 Katz Lester Force measuring instrument
US3269685A (en) * 1965-05-28 1966-08-30 Frank Hamachek Machine Company Leveling control for electrically operating hydraulic leveling means
US3277248A (en) * 1965-07-19 1966-10-04 Western Electric Co Switch control unit with improved pivot arm actuator structure
US3307006A (en) * 1965-10-22 1967-02-28 Richard H Lawrence Circuit controlling means
JPS424720Y1 (de) * 1966-08-15 1967-03-13
FR1543450A (fr) * 1967-09-14 1968-10-25 Gambin S A Dispositif palpeur pour machine-outil à copier
US3520063A (en) * 1968-08-30 1970-07-14 Rohr Corp Multiaxis inspection probe
US3557462A (en) * 1968-10-30 1971-01-26 Inspection Engineering And Equ Gaging device and system
US3673695A (en) * 1970-05-22 1972-07-04 Rohr Corp Non-tilting probe
US3670420A (en) * 1971-01-04 1972-06-20 Inspection Eng And Equipment I Gaging head construction
US3727119A (en) * 1971-02-01 1973-04-10 Information Dev Corp Servo controlled automatic inspection apparatus
US3766653A (en) * 1971-10-04 1973-10-23 Lockheed Missiles Space Three axis inspection probe
DE2242355C2 (de) * 1972-08-29 1974-10-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Elektronischer Mehrkoordinatentaster
US4153998A (en) * 1972-09-21 1979-05-15 Rolls-Royce (1971) Limited Probes
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
US3855708A (en) * 1972-10-16 1974-12-24 Candid Logic Inc Self-actuated digital location sensor
DE2356030C3 (de) * 1973-11-09 1978-05-11 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Taster zur Werkstückantastung
US3885708A (en) * 1974-06-06 1975-05-27 David W Parry Flexible tube winding and emptying device
US4130941A (en) * 1975-03-20 1978-12-26 Rolls-Royce Limited Displacement gauge
SU649942A1 (ru) * 1976-07-05 1979-02-28 Предприятие П/Я А-7555 Измерительный контактный узел
GB1593050A (en) * 1976-09-30 1981-07-15 Renishaw Electrical Ltd Contact sensing probe
US4136458A (en) * 1976-10-01 1979-01-30 The Bendix Corporation Bi-axial probe
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
IT1107310B (it) * 1978-03-23 1985-11-25 Dea Spa Gruppo di attacco per un montaggio di precisione e di sicurezza di un utensile su una macchina particolarmente una macchina di misura

Also Published As

Publication number Publication date
US4375723A (en) 1983-03-08
US4301338A (en) 1981-11-17
DE2644027A1 (de) 1977-04-14
FR2326681A1 (fr) 1977-04-29
IT1074001B (it) 1985-04-17
GB1568053A (en) 1980-05-21
FR2326681B1 (de) 1982-05-07
JPS5263358A (en) 1977-05-25
JPS575281B2 (de) 1982-01-29
DE2644027B2 (de) 1978-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2644027C3 (de) Tastkopf
DE2365984C3 (de) Tastkopf
DE3701730C2 (de)
DE3511564C2 (de)
DE4232030C2 (de) Tastsignalfühler
DE3234851C2 (de) Dynamischer Tastkopf
CH644206A5 (de) Anordnung zur variation der federkennlinie einer federparallelogrammvorrichtung.
DE2701377C2 (de) Längenmeßtaster mit steuerbar veränderlicher Meßrichtung
DE3623977C2 (de)
DE4326406C1 (de) Verzahnungsprüfgerät
DE10319947B4 (de) Einrichtung zur Messung der Umfangsgestalt rotationssymmetrischer Werkstücke
EP1197724B1 (de) Fasenlängen-Messvorrichtung
CH656455A5 (de) Messtaster.
EP0529494B1 (de) Kantentaster mit Anzeigeeinrichtung
DE2935898C2 (de) Rotationstransduktor zur Positionsmessung
DE4038698C2 (de) Meßvorrichtung
DE2654271A1 (de) Bohrungslehre
AT229597B (de) Meßgerät mit einer federnden Tastkufe
DE3716567C2 (de) Meßvorrichtung in Kraftfahrzeugen
DE2543779C3 (de) Zentrierkopf zum Zentrieren von Bohrungen gegenüber einer Achse und zum Messen des Durchmessers der zentrierten Bohrung
DE884110C (de) Mess- und Kontrollvorrichtung fuer die Bestimmung bzw. Pruefung von Abmessungen von Werkstuecken
DE953469C (de) Geraet zur Durchfuehrung von Laengenmessungen und/oder zur Pruefung der Toleranzhaltigkeit von Werkstuecken
DE2459435C3 (de) Rockwellhärte-Prüfgerät mit einem Lastübertragungsmechanismus
DE7004429U (de) Bewegliche tragvorrichtung fuer mindestens ein zum messen von dimensionen eines gegenstandes dienendes instrument.
DE935397C (de) Schublehre

Legal Events

Date Code Title Description
BGA New person/name/address of the applicant
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ROLLS-ROYCE PLC, LONDON, GB

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ROLLS-ROYCE PLC, LONDON, GB RENISHAW P.L.C., WOTTO

8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: HOLZER, R., DIPL.-ING. GALLO, W., DIPL.-ING. (FH), PAT.-ANW., 8900 AUGSBURG

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: RENISHAW PLC, WOTTON-UNDER-EDGE, GLOUCESTERSHIRE,